• <menu id="2go2k"></menu>
  • <nav id="2go2k"></nav>
  • <nav id="2go2k"><strong id="2go2k"></strong></nav>
    <nav id="2go2k"><strong id="2go2k"></strong></nav>
  • English
    热门关键字:  电磁阀
    当前位置:主页>科技动态>实时分析LSI生产线空气污染传感器研成
    实时分析LSI生产线空气污染传感器研成
    来源:作者:本站

    实时分析LSI生产线空气污染传感器研成
    2006年9月29日 来源:日经BP社

    富士通研究所开发成功了可实时分析LSI生产线晶圆运送容器(FOUP)内空气污染的传感器(新闻发布)。今后,将通过富士通的LSI生产线进行效果验证。


    与金属板并用也可测定污染物

    作为LSI生产线的空气污染物分析方法,此前主要采用取样方法。但是使用这种方法,分析时需要花很长时间,并且不能实时分析,很难确定污染原因。而此次则将富士通研所开发的水晶发振传感器(石英晶体微天平,QCM)配置于FOUP内,可实时分析空气中的污染物,及早确定污染原因,便于采取对策。也可以将金属板与传感器一块放入FOUP,通过X射线光电子分光法来确定污染物。

    QCM的工作原理是水晶振子表面吸附有物质时,振动频率会发生变化。仅吸附0.5ng/cm2的微量物质,振动频率就会变化1Hz。新开发的QCM为了放进FOUP,进行了小型化设计,同时,使用了可弯曲的接线,不用在FOUP上开口即可插入内部。

    LSI生产线普遍采用的方法是,不仅提高洁净室的清洁度,还将晶圆密闭在FOUP等容器中,局部提高晶圆周围的清洁度。

    富士通研究所将在9月25~27日召开的半导体制造技术相关国际会议“International Symposium On Semiconductor Manufacturing(ISSM)2006”上发表此次的成果。
    上一篇:浙江风洞排气节流调压阀填补国内空白
    下一篇:没有了
    免责声明:凡本站注明来源为xx所属媒体的作品,均转载自其它媒体转载目的在于传递更多信息,并不代表本站赞同其观点和对其真实性负责
    大红鹰现金官网